工作溫度

• ≤1000 ℃（連續(xù)工作）
• 1100℃（極限溫度，工作時間小于30分鐘）

升溫速率

• 大升溫速率：20℃/ min
• 建議升溫速率：10℃/ min

加熱元件

Ni-Cr-Al 電阻絲，高可加熱溫度1200℃

腔體尺寸&有效加熱區(qū)尺寸

• 石英腔體: Φ200x 340mm
• 有效加熱區(qū): Φ190x216mm(7.6L)
• 恒溫區(qū): Φ100x 89mm 爐膛中心位置± 5℃
•   

溫度控制器
 

• 采用30段可編程數(shù)字溫度控制器，可精確控制升溫速率、降溫速率和恒溫時間.
• 注意: 如需實時監(jiān)控設(shè)備運行情況或記錄整個程序過程建議您另外選購一套高溫爐控制軟件. 如您在購買產(chǎn)品時一起訂購控制單元，我們在設(shè)備出廠前將會把通訊軟件安裝調(diào)試完畢?？蛻羰盏截浳飼r只需按照使用說明書將控制軟件安裝于自己電腦即可使用。

恒溫精度

± 2℃

密封法蘭 (安裝有鎧裝)

• 不銹鋼密封法蘭上安裝有2個1/4英寸的鎧裝孔
• 一個1/4英寸的進氣孔，可向石英腔體中連續(xù)通入氣體?？蛇x購一根石英管（Φ6.35mm）直接將反應(yīng)氣體通入到樣品處
• 可選購一根1/4英寸的鎧裝熱偶，通過鎧裝孔伸入到樣品附近來測量樣品的真實溫度
• 配有一塊氧化鋁泡沫陶瓷管堵和石英平臺
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可選

• 可選購石英管堵，能提高腔體的潔凈度，可幫助獲得更高的真空度
• 可選購4電極（鉑絲），用于測量樣品在高溫環(huán)境下的阻值
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極限真空度

真空度主要取決于真空泵、連接管、耐火材料等。通過KFD25、不銹鋼波紋管和KF25擋板閥,爐腔真空度如下:

• 沒有加裝絕熱門堵時機械泵工作30分鐘內(nèi)真空度能達到10 mtorr（10^-2torr）。
• 加裝絕熱門堵時機械泵工作30分鐘內(nèi)真空度能達到60mtorr（6x10^-2torr）注意石英爐堵需在900℃時預(yù)熱一下。

可選:

• 如您想獲得更高的真空度(<10^-5torr)可選購
• GZL-103德國進口分子泵機組
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氣體流量控制系統(tǒng)

• 一個進氣接口 (1/4"卡套接頭) 及精密針閥( 如左圖)
• 可通入惰性氣體或還原性氣體 (注意: 我司并不推薦我們的產(chǎn)品在惡劣的環(huán)境中使用。如在惡劣環(huán)境中使用造成的損害,我司不承擔(dān)責(zé)任。如果你打算使用氫氣，我們建議謹慎的做法是把爐體放入通風(fēng)柜內(nèi)部使用)
• 腔體內(nèi)壓力因＜1.2 atm
• 你可以選擇氣體流量控制系統(tǒng),來控制氣體混合比例或是流量大小
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水冷

• 設(shè)備所采用的法蘭為水冷法蘭，保證密封性，使用時必須通入冷卻水?？稍诒竟具x購循環(huán)水冷機
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真空壓力表

• 安裝有一機械壓力表，測量范圍為-0.1～0.15MPa
• 可選購數(shù)顯防腐真空計當(dāng)氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類不同而進行系數(shù)轉(zhuǎn)換，測量范圍為3.8x10^-5-1125 Torr
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溫控系統(tǒng)

• 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度
• 可設(shè)置30段升降溫程序
• 帶有超溫和斷偶保護
• 控溫精度為+/- 1℃
• 面板上安裝有RS485通訊接口
• 可選購MTS02-Y控溫模塊，可用電腦設(shè)置和顯示溫度程序
• 可選購歐陸3504控溫儀表
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外形尺寸

•  510 x 435 x 425mm
• 

凈重

80 kg

保修期

整機保修一年，*維護（不包含密封圈，石英腔體和加熱元件）

質(zhì)量認證

• CE
• 所有電器元件（>24V）都通過UL / MET / CSA認證
• 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證
       

警告

•  此水平坩堝爐的石英腔體是設(shè)置在真空或常壓狀態(tài)下使用，腔體內(nèi)的相對氣壓需<0.02MPa
• 通氣的氣瓶上必須安裝雙極減壓閥，可在本公司選購減壓閥
• 不可在閥門全部關(guān)閉的狀態(tài)下，對爐體進行加熱，以防止石英腔體內(nèi)達到正壓環(huán)境損壞腔體。要時刻關(guān)注真空壓力表數(shù)值，一旦氣壓顯示超過0.02MPa(相對氣壓)，要立刻打開泄氣閥泄壓。
• 如設(shè)備工作溫度超過1000℃時，石英腔體不可處于真空狀態(tài)，要通入氣體保證石英腔體內(nèi)處于常壓環(huán)境。
• 進氣流量需小于200 SCCM( 200ml/min )