高頻感應(yīng)加熱設(shè)備

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• 工作電壓:   三相380VAC 50Hz   (需60A空氣開關(guān)）
• 大輸入功率:  25KW
• 震蕩頻率: 30 - 80 kHz 
• 循環(huán)比: 80%
• 感應(yīng)線圈: 150mm(OD) x 140mm(ID) x 90mm(H) 
• 保護(hù)系統(tǒng)：帶有自動(dòng)水壓、過熱、功率過高保護(hù)
• 耐火材料：配有多塊采用氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，和防止熱量輻射

溫度控制器& 熱電偶

• 工作電壓: 208~240V AC, 單相
• 采用PID方式控溫 ，可設(shè)置30段升降溫程序
• 設(shè)備帶有過熱和斷偶保護(hù)功能
• 控溫精度：+/- 3 ºC 
• 采用C型熱電偶,探頭伸入到石墨坩堝內(nèi)
• 長(zhǎng)期使用溫度：1900ºC
• 高工作溫度：2000ºC（＜5小時(shí)）
• 大升溫速率:
  10ºC/second (1000ºC-1200ºC)
  8ºC/second (1200ºC~1500ºC)
  3ºC~6ºC/second (1500ºC~2000ºC)

石墨坩堝和耐火磚

• 高純石墨坩堝: 50mm(OD)×40mm(ID)×110mm ,坩堝是用來感應(yīng)加熱和熔化金屬
• 大容量：樣品所占容積應(yīng)該是石墨坩堝容積的1/2 
• 可選:為對(duì)晶片熱處理，可定制石墨樣品臺(tái)，大可放置晶片尺寸為1.5'' O.D x 1/8'' T，因?yàn)槭珜?dǎo)熱率非常高，所以可使放置的晶片受熱均勻 
  
• 保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從里到外分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈，總厚度為32mm，石墨保溫毯（可耐溫2200℃）氧化鋁毯（耐溫1700℃）

密封法蘭與石英管

• 頂部法蘭: 采用不銹鋼折疊式法蘭，帶有一1/4＂的鎧裝接口（可插入熱電偶到石英管內(nèi)部更準(zhǔn)確地測(cè)量樣品溫度）法蘭上安裝有不銹鋼截止閥

• 底部法蘭:底部法蘭接口為KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接。

• 石英管尺寸：130mm(OD) x 122mm(ID) x 360mm(L)
• 儀器中配有KF25擋板閥和KF25*1000mm的波紋管，以便與真空泵相連接
    

防腐型真空計(jì)（可選）

 

當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，不需因測(cè)量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換，量程可到3.8x10E-5 torr

循環(huán)水冷機(jī)

 

• 溫度范圍: 5 - 30°C
• 水流速： 16L/min
• 水箱容積: 12 Liters 采用不銹鋼制作
• 水壓≥0.1MPa，流量≥5L/Min
• 注: 本公司建議使用的冷卻液作為冷卻介質(zhì)

真空泵

 

• 儀器中配有一2L/S的雙極旋片機(jī)械泵，使管內(nèi)的真空度達(dá)到10e-2 torr

• 工作電壓AC 208 -240V, 單相

移動(dòng)爐架
 

• 結(jié)構(gòu): 鋼框架結(jié)構(gòu)
• 800mm×600mm的移動(dòng)爐架可方便移動(dòng)電感應(yīng)加熱器和帶有法蘭的石英管

產(chǎn)品尺寸

 

• 感應(yīng)加熱器:520mm x 520mm x 450mm
• 水冷機(jī)組: 460mm x 475mm x 762mm
• 移動(dòng)爐架： 600mm(L) x 800mm(W) x 597mm(H)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)，不包括石英管、硅膠密封圈和石墨坩堝損耗件）

注意

• 為了保護(hù)石墨坩堝和C型熱電偶，要不斷通入惰性氣體
• 請(qǐng)點(diǎn)擊這里了解感應(yīng)加熱的原理
• 如果您對(duì)感應(yīng)加熱和熔煉的東西不了解，可以咨詢我們的工程師
• 此設(shè)備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)，請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可聯(lián)系我們
  

凈重

120Kg